高真空檢漏儀，在將樣品放進(jìn)電鏡前，仔細(xì)檢驗(yàn)樣品芯片安放是否存在泄露是必要的，這可以提高原位樣品臺(tái)的使用效率，保護(hù)透射電鏡。該設(shè)備是專(zhuān)門(mén)用于TEM樣品臺(tái)真空儲(chǔ)存和密封檢查。它能夠在5min內(nèi)將系統(tǒng)內(nèi)真空度抽至10^(-5)mBar，即TEM內(nèi)的真空環(huán)境。搭配的超高分辨數(shù)字顯微系統(tǒng)，自帶13寸顯示器及自動(dòng)變焦功能，放大倍率達(dá)800X， 分辨率達(dá)1微米。研究人員可輕松完成液體池或氣體池的密封性、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染，檢驗(yàn)樣品在窗體分布情況。
高真空檢漏儀的用途：
該設(shè)備是專(zhuān)門(mén)用于TEM樣品臺(tái)真空儲(chǔ)存和密封檢查。它能夠在5min內(nèi)將系統(tǒng)內(nèi)真空度抽至10^(-5)mBar，即TEM內(nèi)的真空環(huán)境。搭配的超高分辨數(shù)字顯微系統(tǒng)，自帶13寸顯示器及自動(dòng)變焦功能，放大倍率達(dá)800X， 分辨率達(dá)1微米。研究人員可輕松完成液體池或氣體池的密封性、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染，檢驗(yàn)樣品在窗體分布情況。
高真空檢漏儀的測(cè)試原理：
主要應(yīng)用干燥的壓縮空氣為介質(zhì)的半自動(dòng)或全自動(dòng)氣密性檢測(cè)中，對(duì)被測(cè)工件充氣加壓（或負(fù)壓）并確定所充氣體是否泄漏。當(dāng)工件和壓縮空氣氣源切斷后，如果被測(cè)物發(fā)生泄漏，則測(cè)試壓力必然要發(fā)生變化，我們要測(cè)量的便是這個(gè)壓力變化。通過(guò)計(jì)算被測(cè)物壓力變化，來(lái)完成生產(chǎn)線(xiàn)上的被測(cè)產(chǎn)品的良莠判定。
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